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Mikroskoptisch mit integriertem Controller und Linearmotorantrieb • direkte Positionierung in zwei Achsen mittels Linearmotore • absolute Messung der Position, dadurch entfällt das Referenzieren, einfach einschalten und verfahren • Hydra Steuerung mit Ethernet, RS-232 und USB Kommunikation • CAN-Joystick und CAN-Handrad optional • Endschalter entfallen • sehr kompakter Aufbau • leichtes und präzises Verschieben der Platten von Hand jederzeit möglich • hoher Bedienungskomfort durch das Freischalten der beweglichen Platten direkt am Tisch • keine Verletzungsgefahr für den Anwender Positionsauflösung: <= 5 nm Genauigkeit: < ±2 µm Wiederholgenauigkeit: < ±0,5 µm Verfahrbereich: mindestens 72 x 50 mm Geschwindigkeit: maximal 500 mm/s Beschleunigung: maximal 5 m/s2

Flacher und genauer X/Y Tisch mit integrierter Steuerung • direkte Positionierung in zwei Achsen mittels Linearmotore • absolute Messung der Position, dadurch entfällt das Referenzieren, einfach einschalten und verfahren • Hydra Steuerung mit Ethernet, RS-232 und USB Kommunikation • CAN-Joystick und CAN-Handrad optional • Endschalter entfallen • sehr kompakter Aufbau • leichtes und präzises Verschieben der Platten von Hand jederzeit möglich • hoher Bedienungskomfort durch das Freischalten der beweglichen Platten direkt am Tisch • keine Verletzungsgefahr für den Anwender Genauigkeit: < ±1 µm Wiederholgenauigkeit: < ±0,25 µm Verfahrbereich: 120 x 80 mm Beschleunigung: maximal 5 m/s2 Geschwindigkeit: maximal 500 mm/s Positionsauflösung: <= 5 nm